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설비개조 개선
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양산과정에서 발생할 수 있는 다양한 문제점의 해결과 수율을 높이기 위해 설비의 기능을 개선할 수 있도록
필요한 기술력과 Solution을 제공하고 있습니다.
대응가능한 기술
– 정전기 제저기술 : CNT Roller 및 반송부 Shaft 접지용 Module설치
초순수 CO₂ Bubbler Module설치
정전기 제거용 Ionizer설치 및 제어(X선 방식 & Photo 방식)
– 이물 제거 및 세정력 향상 기술 : Water Jet 제작, 초음파 세정, Nano Bubble세정
– 건조력 향상 : Dual Knife, 유도가열방식 건조Module제작
– 제조원료 절감기술 : DI Recycle System, EPSS(Econimic Photo Resist Supply System)
– 정전기 제거기술 : CNT Roller 및 반송부 Shaft접지모듈 설치
초순수 CO2(이산화탄소, 숫자 “2”는 화학기호이므로 작게) Bubbler Module설치
X선 , Photo Ionizer설치제어
– 이물제거 기술 : Water Jet, 초음파세정, Nano Bubble세정
– 건조력 향상 : Dual Knife, 유도가열방식건조모듈제작
– 제조원료 절감기술 : DI Recycle System, EPSS(Eco Photo Resist Supply System)