– 정전기 제거기술 : CNT Roller 및 반송부 Shaft접지모듈 설치
초순수 CO2(이산화탄소, 숫자 “2”는 화학기호이므로 작게) Bubbler Module설치
X선 , Photo Ionizer설치제어
– 이물제거 기술 : Water Jet, 초음파세정, Nano Bubble세정
– 건조력 향상 : Dual Knife, 유도가열방식건조모듈제작
– 제조원료 절감기술 : DI Recycle System, EPSS(Eco Photo Resist Supply System)